更高的分辨率摄像头与高速相结合，可以改善半导体晶圆检查和计量设备所需的精度。

尽管三星和苹果等公司正在响应并满足消费者对更多更好智能手机和平板电脑的需求，但半导体制造行业通过专注于支持它们而发展壮大。

为了提高智能手机的功能，使用更高的密度芯片需要更强大的处理器。

这给制造检查和计量设备带来了新的挑战。 使用半导体晶圆制造，必须在吞吐量中没有妥协的情况下检测到较小的功能，以帮助维持或提高产量。

检测较小的功能

进入22和20 nm技术节点会导致许多变化。 前端半导体制造业的发展持续发展，可在可能的情况下从在线检查而不是脱机，破坏性分析转变。 这需要各种检查和计量设备，具有高质量且稳定的可见，红色（IR）或Ultra Violet（UV）敏感摄像头。

裸晶片计量学

在放置任何晶体管之前，必须分析传入的硅晶片的平坦度和缺陷。 通过此检查，可以对晶片进行分类，以允许最小的技术节点使用最佳的晶圆。 通常，用于此类测量技术（例如干涉法）。 需要低噪声的极稳定的摄像机才能进行准确的测量。 稍后再详细介绍…

覆盖计量学

随着功能变小，对层对齐的需求更大。 为此使用了不同的技术，但所有技术都需要高质量的相机。 与所有测量值一样，高质量意味着相机和图像的变化小于您在生产线中要测量的变化的变化，因此您不会在相机的噪声中进行测量。

微缺陷检查

具有较小功能和设备的破坏性缺陷和颗粒甚至更小。 具有更好空间分辨率的更高分辨率摄像机可以提高这些检查系统的功能。

CD计量学

有了最新的技术节点，甚至可以准确地测量更严格的维度。 同样，更高分辨率摄像机的实施可以提高功能。

增加晶圆吞吐量

对于上述所有技术，必须在保持或增加吞吐量的同时提高精度和准确性。

相机制造商面临的挑战是以最快的框架速度保持图像质量，但这是可能的。 支持相机技术/功能，例如突发模式，哄骗和感兴趣的区域（ROI）可以进一步提高速度。

通过可靠和稳定的性能提高产量

具有更好计量学的目标是检测问题和缺陷，以纠正它们以防止收益率问题或提高过程改善产量。 即使收益率提高0.1％也可能意味着数百万美元的盈利能力提高。

性能一致的摄像机降低了计量变异性，并可以更好地确定过程变化。 这减少了过程偏差，从而允许根本原因分析采取纠正措施。 同样，如前所述，相机需要是高质量的，在相机中从图像到图像的变化小于所测量的变化。

高分辨率摄像机与高速使用的高速摄像头完整使用精选图像传感器，提供了检查和计量的最新智能手机和平板电脑内部设备所需的图像。

Source: High-resolution cameras combined with high speeds support latest smartphones production demand